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Plasma-entfettungsanlagen

DeutschlandFrankfurt am Main und Hessen
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  1. AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

    Deutschland

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    AURION Anlagentechnik GmbH - Plasmatechnologie = Plasmasysteme + HF-Komponenten Die AURION Anlagentechnik GmbH wurde gegen Ende 1996 von drei Gesellschaftern gegründet. Die Idee, die dieser Firmengründung vorausging, war es, Komponenten und komplette Systeme zur Oberflächenbehandlung herzustellen, welche effizient, kostenreduzierend und umweltverträglich sind. AURION entwickelt und baut Komponenten für die Leistungsversorgung von Plasmasystemen. Hierzu gehören Impedanzanpassungsnetzwerke mit Autotuningeinheit sowie Filter, Schalter, Phasenschieber, Leistungsteiler, Leitungen und Steckverbinder. Der Schwerpunkt liegt im Bereich der Hochfrequenz-Plasmaprozesse bei 13, 56 bzw. 27, 12 MHz. Auf dem Know-how aus dem Komponentenbau aufbauend bietet AURION außerdem komplette Systeme zur plasmagestützten Behandlung von Oberflächen an, das heißt sowohl zur Oberflächenreinigung und -modifikation als auch für Beschichtungs- und Ätzprozesse (PVD, PECVD, RIE, Mikrowelle).

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