Deutschland
Hersteller/ Fabrikant
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komplette Systeme für die Behandlung von und Beschichtung auf Oberflächen mittels Plasmaprozessen Aktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendruckplasma, Reaktivem Ionenätzen (RIE) und Mikrowellen Downstream Plasma
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KIVOS ist ein sehr flexibles, modulares Konzept für Plasmasysteme. Diese Systeme sind in den verschiedensten Anwendungsbereichen wie zum Beispiel Feinreinigung und Aktivierung von Oberflächen, reaktivem Ionenätzen (RIE) und Beschichtung (PECVD, PVD) einsetzbar. Das Konzept erlaubt AURION die kostengünstige Fertigung von hochentwickelten Produkten zu günstigen Preisen. Von diesem Preisvorteil profitieren unsere Kunden. Ein weiterer Vorteil ist, daß ein einziges System für ganz unterschiedliche Applikationen eingesetzt werden kann.
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Vakuumrezipienten wahlweise aus Aluminium oder Edelstahl, Vakuumpumpen in korrosiv-gasfester Ausführung inkl. Ölnebelabscheider mit Ölrückführung, bis zu 4 Massendurchflußregler für die Gasversorgung Angepasster Gaseinlaß für optimale Verteilung Druckmessung je nach Anforderung mit kapazitiver Meßröhre oder Widerstandsmanometer (Pirani) Einkopplung der HF-Leistung mittels von AURION selbst konzipierter und gebauter Impedanz-Anpassungsnetzwerke mit automatischem Tuning Power-Split (bei mehreren Kathoden) DC-Bias-Regelung für gleiches Bias-Potential auf mehreren Kathoden Wahlweise halbautomatische oder PC-Steuerung inklusive Rezeptverwaltung und Datalogging
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Strahlmanipulation in Teilchenbeschleunigern (z.B. Bunch Compression), Voll integrierte Systeme aus Kavität mit, Strahlrohr und HF-Verstärker. Strahrohr unter XHV (Enddruck < 1E-10 hPa). HF-Verstärker auf Basis von Tetroden Gegentaktbetrieb Hohe Spannungen Breiter Frequenzbereich Pulsbetrieb
Angebot anfordernAURION Anlagentechnik GmbH - Plasmatechnologie = Plasmasysteme + HF-Komponenten Die AURION Anlagentechnik GmbH wurde gegen Ende 1996 von drei Gesellschaftern gegründet. Die Idee, die dieser Firmengründung vorausging, war es, Komponenten und komplette Systeme zur Oberflächenbehandlung herzustellen, welche effizient, kostenreduzierend und umweltverträglich sind. AURION entwickelt und baut Komponenten für die Leistungsversorgung von Plasmasystemen. Hierzu gehören Impedanzanpassungsnetzwerke mit Autotuningeinheit sowie Filter, Schalter, Phasenschieber, Leistungsteiler, Leitungen und Steckverbinder. Der Schwerpunkt liegt im Bereich der Hochfrequenz-Plasmaprozesse bei 13, 56 bzw. 27, 12 MHz. Auf dem Know-how aus dem Komponentenbau aufbauend bietet AURION außerdem komplette Systeme zur plasmagestützten Behandlung von Oberflächen an, das heißt sowohl zur Oberflächenreinigung und -modifikation als auch für Beschichtungs- und Ätzprozesse (PVD, PECVD, RIE, Mikrowelle).
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Am Sandborn 14
63500 Seligenstadt - Deutschland