VA-TEC GMBH & CO.KG

Wir entwickeln und fertigen die komplette Mechanik für die Vakuumtechnik .Optional bieten wir auch Vakuumpumpen und Steuerung an. Zur Herstellung einer kompletten Vakuum-Anlage gehören nicht nur intelligente Planung und höchstpräzise Fertigung. Vielmehr noch spielen hier ein hohes Verständnis der Prozesse und ein anwendungsbezogenes Wissen eine wesentliche Rolle. Als renommierter Lieferant für führende Unternehmen aus den Bereichen der Grundlagenforschung, der Nanotechnologie, Medizintechnik, der Sensortechnik und der Weltallforschung besitzen wir ein hohes Maß an Prozess- und Verfahrens-Know-how und agieren als Partner auf Augenhöhe.

Bei diesen Bauteilen wird ein großes Augenmerk auf die Präzision, Oberflächegüte und Reinigung gelegt. Im Bereich der Nanotechnologie fertigen wir Ultra-Hochvakuum-Kammern für die Teilchenanalytik im Druckbereich von < 1 x 10-11 mbar für Molekularstrahlepitaxie-Anwendungen MBE, SPM(Scanning Probe Microscopie). Diese Vakuumkammern werden mit großer Sorgfalt gefertigt um den hohen Ansprüchen der Branche gerecht zu werden. Mit modernen Maschinen und innovativer Technik erfüllen wir die hohen Anforderungen der Nanotechnolgie.

Im Bereich Dünneschichtenzellen fertigen wir für die führenden Anlagenhersteller. Unser Produktionsumfang bei Vakuumkammern bewegt sich von kleinen Laborkammern für die Entwicklung bis hin zu Testkammern in der Größe der Produktionslinien. Bei dieser Sparte arbeiten die Systeme mit einem Arbeitsdruck bis zu 5 x 10-8 mbar.

Im Bereich der Raumfahrtentwicklung fertigen wir Hochvakuum-Kammern als Testkammern für die Weltraumsimulation, zum Testen von Bauteilen aus Satellitentechnik und Luft- und Raumfahrttechnik. Das Volumen dieser Kammern beträgt von 0,5m3 bis größer 100 m3 Volumen und werden in aller Regel gemeinsam mit unseren Kunden entwickelt, berechnet und gefertigt. Bei den großen Kammern findet die Montage beim Kunden direkt vor Ort statt. Bei dieser Größe ist aus logistischen Gesichtspunkten keine komplette Fertigung in der Werkstatt möglich. Die kleineren Kammer werden bei uns geprüft getestet und abgenommen.

UHV-Bauteile für Forschung, Speicherringe und Nanotechnologie

Im Bereich der Grundlagenforschung fertigen wir Ultrahochvakuum-Bauteile und Hochvakuum-Komponenten für Beschleuniger, Ionenstrahltechnik, Lasertechnik und Tieftemperaturtechnik. Hier decken wir ein breites Spektrum an Anwendungen ab. Zum Beispiel: Vakuumkammern, Clusterflansche, Sonderbauteile, Ionen-Quellengehäuse, Kühlfallen, Bauteile mit Wellschläuchen und Membranbälge, Cryo-Bauteile, Antriebe für Bewegung im Vakuum, Handlingsystem im Vakuum und vieles andere mehr. Ob mit vorliegender Zeichnung oder als kompletter Auftrag mit Planung, Konstruktion, Berechnung und Fertigung.

In der Sparte Dünnschichttechnik bauen wir Vakuumkammern hauptsächlich für die industrielle Nutzung. Für Hersteller von Beschichtungsanlagen und für Forschungsinstitute fertigen wir alle nur denkbaren Arten von Vakuumkammern und Vakuumkomponenten für Plasmabeschichtung (PVD, CVD, PECVD), Niederdruckplasma-Beschichtung und Ionenstrahl-Beschichtung. Die Kammern erhalten oftmals eine automatische Tür und eine automatische Bestückung. Diese Vakuumkomponenten werden für den harten Industrieeinsatz ausgelegt und sind entsprechend äußerst zuverlässig und sehr langlebig. Bei Bedarf liefern wir Pumpstände mit und ohne Schallschutzhaube. Darüber hinaus werden speziell angepasste Warenträger von uns paßgenau gefertigt.