INFICON AG

Das Pirani-Standard-Messgerät PSG55x von INFICON arbeitet mit der fortschrittlichsten digitalen Pirani-Technologie, die auf dem Markt erhältlich ist. Das Pirani-Standard-Messgerät PSG55x von INFICON arbeitet wie seine Verwandten aus der PCG55x und PSG5xx-Serie mit der fortschrittlichsten digitalen Pirani-Technologie, die auf dem Markt erhältlich ist. Der robuste Sensor mit seiner kompakten Größe und seinen vielseitigen Funktionsmerkmalen prädestiniert dieses Produkt für Messungen im Nieder- bis Hochvakuumbereich. Leistungen •Mit Wolfram (PCG550)- oder Nickelfilament (PCG552) oder mit vollbeschichtetem (PCG554) Keramiksensor für hochkorrosive Anwendungen erhältlich •Optionales Display, Sollwerte und digitale Schnittstellen •Leicht auswechselbares Plug-and-Play-Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten - sorgt für hohe Reproduzierbarkeit und niedrige Betriebskosten •Wählbares Ausgangssignal und verschiedene Steckerversionen zur leichten Integration

Das INFICON Pirani-Kapazitätsmembran-Messgerät (PCG55x) kombiniert die patentierte INFICON Pirani-Technologie mit den Vorteilen eines keramischen Kapazitätsmembransensors in einem einzigen Produkt. Im Messbereich zwischen 10 mbar und Atmosphärendruck bietet die Kapazitätsmembrantechnologie vom Gastyp unabhängige, höchstpräzise Werte für zuverlässige Druckmessungen. Darüber hinaus bietet das PCG55x eine Vielzahl an Funktionen, mit denen sich die richtige Produktkonfiguration für die gewünschte Anwendung erzielen lässt. Leistungen •Unabhängig vom Gastyp über 10 mbar – sichere Lüftung mit beliebigen Gasmischungen •Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Normaldruck für die zuverlässige Erkennung atmosphärischer Drücke •Gestaltungsfreiheit beim Werkzeugdesign durch vielseitige Montagemöglichkeiten •Mit Wolfram (PCG550)- oder Nickelfilament (PCG552) oder mit vollbeschichtetem (PCG554) Keramiksensor für hochkorrosive Anwendungen erhältlich

Das verbesserte Pirani-Messgerät 300 (PGE300) von INFICON ist wie das verwandte größere PGE500 mit der neuesten digitalen, konvektionsoptimierten Pirani-Technologie ausgerüstet. Mit identischen Sensorkomponenten wie das PGE500 liefert das PGE300 hochwertige Messergebnisse im Messbereich zwischen 100 und 1000 mbar. Das PGE300 enthält nur die kritischen Funktionsmerkmale, die von den meisten Kunden in der Vakuumindustrie gewünscht werden, so dass die Kosten reduziert und die Effizienz verbessert werden. Diese robuste Messgerät/Sensor-Kombination mit einfach abzulesender LED-Anzeige, 3 wählbaren analogen Ausgangssignalen und einem Sollwertrelais machen das PGE300 nicht nur für OEM-Kunden, sondern für alle Kunden zu einer hervorragenden Wahl mit einem gutem Preis-Leistungs-Verhältnis. Aufgrund seiner Funktionsmerkmale ist dieses Messgerät für zahlreiche Anwendungen geeignet, die eine wirtschaftliche Vakuummessung im Nieder- bis Hochvakuumbereich erfordern.

Die passiven Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe BAG050, BAG051, BAG052 und BAG053 von INFICON sind zur Verwendung mit den INFICON Vakuummessgerät-Controllern VGC083A und VGC083B ausgelegt. Die mit Yttriumoxid beschichteten Filamente werden für allgemeine Vakuumanwendungen in Luft und Inertgasen wie N2 und Argon verwendet. Wählen Sie Wolframfilamente für Gase, die mit Yttriumoxid-beschichteten Iridiumfilamenten nicht kompatible sind. BAG05x-Messgeräte können auch mit kompatiblen Vakuummessgerät-Controllern anderer Hersteller betrieben werden. Die passiven INFICON Bayard-Alpert-Ionisations-Vakuummessgeräte (BAG05x) werden in drei unterschiedlichen Konfigurationen angeboten: BAG050 ist ein ungeschütztes UHV-Ionisations-Vakuummessgerät mit EB-Entgasung zur Messung von Drücken bis auf 2×10-11 Torr herab. BAG051 ist ein ungeschütztes Ionisations-Vakuummessgerät mit resistiver Entgasung (I2R) zur Messung von Drücken bis auf 4×10-10 Torr.

Höchste Wiederholbarkeit und reproduzierbare Messungen für genaue Sputter-Prozessdruckkontrolle im Bereich von 2 E-6 mbar bis Atmosphäre. Das Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät HPG400 von INFICON kombiniert Heißionisation bei hohem Druck und Pirani-Sensoren zu einem einzigen kompakten und kostengünstigen Paket für Druckmessungen im Bereich von 2 E-6 mbar bis Atmosphärendruck (1,5 E-6 Torr bis Atmosphärendruck). Das HPG400 ermöglicht Druckmessungen mit hoher Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit für eine präzise Druckkontrolle bei Zerstäubungsvorgängen. Leistungen •Das HPG400 spart Kosten und Werkzeugplatz und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems. •Das Hochdruck-Heißkathoden-Ionisationsmessgerät bietet präzise, zuverlässige Druckmessungen von E-5 bis 1 mbar zur besseren Prozesssteuerung. •Vom Benutzer auswählbare Aktivierung der Heißkathodenemission zwischen 5 E-2 und 1 mbar •Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem...

Kombinationsmessgeräte-Technologie - Drei Messgeräte in einer Einheit zur genauen Messung des Prozess- und Basisdrucks von UHV bis 1500 mbar. Das INFICON BCG450 Kombinationsmessgerät (Triple-Gauge™) vereinigt die Vorteile dreier verschiedenen Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung von Prozess- und Basisdruck im Bereich von 5 E-10 bis 1500 mbar (3,75 E-10 bis 1125 Torr). Das BCG450 wurde entwickelt um drei Sensoren ersetzen zu können (Hot Ion, Pirani und Vakuumschalter). Dies reduziert die Kosten und verringert den Platzbedarf an der Anlage. Leistungen •Das BCG450 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung zur Vakuummessung •Gasart-unabhängige Druckmessung über 10 Torr bietet zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen. •Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen

Das neue invertierte Magnetron Vakuum Messgerät Gemini™ ist das Arbeitspferd für alle Vakuummessapplikationen im Bereich von Atmosphäre bis E-9 mbar. Das invertierte Magnetron Vakuummessgerät Gemini™ von INFICON ist das neue Arbeitspferd für alle Vakuummessapplikationen. Gemini vereinigt zwei Sensorsysteme (MPG50x) zu einem kompakten Gerät für die Messung im Bereich von Atmophäre bis E-9 mbar. Das patentierte Design zur Reduktion des magnetischen Streufeldes eröffnet neue Einsatzbereiche in kritischen Vakuum-Applikationen. Der einzigartige austauschbare 2-Kammer-Sensor macht eine regelmässige Reinigung überflüssig und reduziert dadurch die Wartung des Gerätes. Gemini wird dadruch zum robustesten und wirtschaftlichsten Vakuum-Messgerät seiner Art. Die Gemini Kaltkathode und seine Pirani-Kaltkathoden Kombi-Variante (MPG50x) ist ein aktives Messgerät mit integrierter digitaler Elektronikeinheit zur ultimativen hochflexiblen Systemintegration.

Die Kombination aus invertiertem Magnetron und Pirani-Messprinzip ermöglicht Druckmessungen von Atmosphäre bis in den Hochvakuumbereich von 5 E-9 mbar. Die invertierten Magnetron-Pirani-Messgeräte MPG400 und MPG401 von INFICON messen von 5 E-9 mbar (3,8 E-9 Torr) bis Atmosphärendruck. Die Kombination von Technologien in einem einzigen kompakten Gerät mit nur einem logarithmischen analogen Ausgangssignal vereinfacht die Installation, Einrichtung und Integration in Ihre Anlage. Leistungen •Kombinationsmessgerät – invertiertes Magnetron und Pirani •Großer Messbereich von 5 E-9 mbar bis Atmosphärendruck •Kein Filament, das ausbrennen kann •Ausgezeichnete Zündeigenschaften •Leicht zu reinigen •FPM- oder metallversiegelte Durchführung •LED-Anzeige für anliegende Hochspannung •Logarithmisches analoges Ausgangssignal Typische Anwendungen •Hochvakuum-Drucküberwachung •Basisdruck für Verdampfungs- und Sputter-Systeme •Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Mittel- und Hochvakuumbereich

Das robuste Penning-Kaltkathodenmessgerät bietet zuverlässige Hochvakuummessungen von E-2 mbar bis in den Hochvakuumbereich von bis zu E-9 mbar. Verschiedende Feldbusoptionen sind verfügbar. Das INFICON Penning-Messgerät PEG050 ermöglicht zuverlässige Hochvakuummessungen. Der robuste Penning-Kaltkathodensensor enthält kein Filament, das durchbrennen könnte. Aufgrund der Titankathodenplatten und der reduzierten Hochspannung nach der Plasmazündung kann das Messgerät auch in Zerstäubungsanwendungen eingesetzt werden. Die Feldbusoptionen ermöglichen zusammen mit dem logarithmischen analogen Ausgangssignal eine einfache Integration in Vakuumsysteme mithilfe von Profibus DP- oder DeviceNet-Protokollen. Leistungen •Großer Messbereich von E-9 bis E-2 mbar (7,5 E-10 bis 7,5 E-3 Torr) •Ganzmetallsensor mit Kaltkathode (Penning) und Keramikdurchführung •Neue Elektrodengeometrie sorgt für exzellente Zündeigenschaften

Zur Dichtheitsprüfung von Schutzgasverpackungen und anderen flexiblen Verpackungen. Produktlinie kompakter Pirani-Messgeräte mit einer Vielzahl von Funktionsmerkmalen. Das Pirani-Standard-Messgerät PSG55x von INFICON arbeitet wie seine Verwandten aus der PCG55x und PSG5xx-Serie mit der fortschrittlichsten digitalen Pirani-Technologie, die auf dem Markt erhältlich ist. Der robuste Sensor mit seiner kompakten Größe und seinen vielseitigen Funktionsmerkmalen prädestiniert dieses Produkt für Messungen im Nieder- bis Hochvakuumbereich. Leistungen •Mit Wolfram (PCG550)- oder Nickelfilament (PCG552) oder mit vollbeschichtetem (PCG554) Keramiksensor für hochkorrosive Anwendungen erhältlich •Optionales Display, Sollwerte und digitale Schnittstellen •Leicht auswechselbares Plug-and-Play-Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten - sorgt für hohe Reproduzierbarkeit und niedrige Betriebskosten