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Gasanwendungstechnik

SIGA GMBH

Deutschland

SIGA entwickelt und baut kundenspezifische Systeme zum Messen, Regeln und Steuern von Gasflüssen und zum Verdampfen und Dosieren flüssiger Precusor ergänzt von Precursor Versorgungssystemen. Mit unseren Gassystemen können Sie ein Gas oder viele Gase oder Precursor dosieren und diese einer oder mehreren Gebrauchsstellen zuführen. Ergänzt werden die Systeme von einer rechnergestützten Steuerung mit Hard- und Software. Die Auslegung erfolgt nach Ihren Wünschen auf der Grundlage unserer Erfahrung. Wir bieten u.A. Precursor Verdampfersysteme & Versorgungssysteme, Brennersysteme, Aktivkohlefilter-Konditioniersysteme Zum Einsatz kommen Massenflussregler MFCs, Ventile, Filter, Drucksensoren, Temperaturfühler, etc. Anwendungsgebiet ist überall dort wo Gase in Fertigungsprozessen eingesetzt werden, z.B. zum Abscheiden dünner Schichten CVD. Zertifikat DIN EN ISO 9001 Systeme von SIGA •Precursor Verdampfer ◦Verdampfer für einen Precursor ◦Verdampfer für 2 oder mehr Precursor ◦Flüssigdosierung mit anschliessender Verdampfung •Precursor Versorgungssysteme •Gasmischsysteme •Reinstgassysteme •AKF-Beladestationen •Brennersysteme

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