TruPlasma VHF Serie 3000

Souveränes Handling von anspruchsvollen Prozessen Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurde speziell für das reaktive DC-Sputtern mit schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich höchste Schichtqualität und Produktivität verlangt werden. Die kompakten DC-Prozessstromversorgungen sind sowohl im gepulsten als auch im Bias-Betrieb einsetzbar – sozusagen zwei Geräte in einem Gehäuse!

HF-Generatoren der neuen Generation Bei der Beschichtung oder Strukturierung von Oberflächen kommt es entscheidend auf eine stabile und reproduzierbare Plasmastromversorgung an. Hierfür bieten die mit moderner Leistungselektronik ausgestatteten HF-Generatoren der TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) die besten Voraussetzungen: Dank ihrer stabilen Ausgangsleistung und hohen Regelgenauigkeit sichern sie Ihnen beste Ergebnisse bei zugleich hoher Produktivität. Ausgangsfrequenz: 13.56 MHz

Kompakte Gleichstrom-Generatoren der neuen Generation Die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) ist für eine Vielzahl von DC-Sputterprozessen geeignet – auch als Ersatz von gepulsten Prozessstromversorgungen. Denn das fortschrittliche Arc-Management bietet die Gewähr für beste Schichtqualitäten und einen deutlich erhöhten Produktionsertrag. Aufgrund der äußerst kompakten Bauweise können Sie die wassergekühlten Gleichstrom-Generatoren sehr einfach in Ihre bestehende Anwendung integrieren.

Beeindruckende Hartstoffschichten mit Arcs erzielen Die Produktfamilie TruPlasma Arc Serie 3000 ist eine Schlüsselkomponente bei Arc-Kathoden-Prozessen im rauen industriellen Umfeld. Die Generatoren bestechen vor allem bei Hartstoff- und dekorativen Beschichtungen. Zusätzlich sind sie eine ausgewählte Energiequelle für zahlreiche Hochstrom-Anwendungen, z.B. der Ionen-Implantation und DC-Anwendungen mit gleichen Anforderungen.