Die Oxidation in einer Plasmaatmossphäre wird bevorzugt als Korrosionsschutzbehandlung für Bauteiloberflächen angewandt. Sie erfolgt mit einem sauerstoffabgebenden Medium, das durch den Zerfall von Eisennitriden und Oxidation mit Eisen dünne, chemisch hochbeständige Eisenoxidschichten bildet. Die Randzonen von nitrierten und unbehandelten Bauteilen sind dadurch geglättet und "versiegelt", so dass eine weitere Sauerstoffaufnahme verhindert wird.
Deutschland
In einer Vakuumretorte werden vorwiegend extern erzeugte Ionen/Elektronen auf die kathodisch/anodisch geschalteten Werkstücke beschleunigt und bewirken im Potentialgefälle durch Dissoziation der Gas/Metall-Moleküle die Diffusionshärtung und andere ähnliche plasma-physikalischen Oberflächenreaktionen.
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