PFEIFFER VACUUM GMBH

Der ASM 390 und der ASM 392 sind die besten Lecksuchlösungen für die Halbleiter- und Display­Industrie sowie für andere anspruchsvolle Anwendungen, bei denen kurze Abpumpzeiten und eine hohe Empfindlichkeit von entscheidender Bedeutung sind. Beide sind konform mit der Richtlinie Semi S2.

Der ASI 35 ist für Maschinenbauer und Endanwender die ideale Lösung zur Lecksuche. Das Gerät vereint hohe Leistungsfähigkeit, Zuverlässigkeit und Wiederholgenauigkeit mit maximaler Laufzeit. Der ASI 35 bietet mit Helium oder Wasserstoff als Prüfgas eine ausgezeichnete Performance bei integralen und lokalisierenden Prüfverfahren bzw. bei Kombinationen aus beiden. Dank ihrer hohen Flexibilität eignet sich die Anlage für anspruchvollste Prüfaufgaben mit kleinsten Untergrundsignalen und gewährleistet kurze Gesamtdurchlaufzeiten.

Dichtheitsprüfungen spielen eine wichtige Rolle für unsere tägliche Sicherheit, im Umweltschutz und bei der Verlässlichkeit von Produktionsverfahren und Produkten unseres täglichen Lebens. Das Anwendungsspektrum ist vielfältig. Ein Großteil der allseits bekannten Anwendungen findet sich in der Automobilindustrie. Treibstoff-, Brems-, Kühl- und Airbagsysteme sind nur einige Beispiele für die Wichtigkeit zuverlässiger Dichtheitsprüfungen. Auch Anwendungen in der Kälte- und Klimatechnik, der medizinischen und pharmazeutischen Industrie sowie in der Halbleiterbranche, aber auch Anwendungen in der Forschung sind weitere Beispiele für den hohen Bedarf an Dichtheitsprüfungen.

Die Wälzkolbenpumpen der Baureihe OktaLine können durch optimierte Abstufungen und Ausführungen perfekt auf kundenspezifische Anforderungen abgestimmt werden . Dieser Pumpentyp benötigt jeweils eine für die Anwendung geeignete und auf den Gasstrom ausgelegte Vorpumpe.

Membranpumpen arbeiten komplett ölfrei und erzeugen keinerlei Partikel. Dadurch eignen sie sich für alle Anwendungen, bei denen ein sauberes und trockenes Vakuum benötigt wird. Ein weiterer wichtiger Vorteil der Membranpumpen ist ihre lange Lebensdauer. An sensiblen Standorten erledigen Membranpumpen ihre Arbeit nicht nur zuverlässig, sondern auch vibrationsarm und leise. Der Geräuschpegel liegt normalerweise unterhalb von 50 dB(A.

Die Technologie der mehrstufigen ACP Wälzkolbenpumpen erfüllt die Anforderungen von Anwendungen, bei denen es auf sauberes und ölfreies Vakuum ankommt. Das berührungslos arbeitende Pumpenmodul kommt ohne interne Schmiermittel aus. Es erzeugt ein ölfreies Vakuum ohne Rückströmung von Kohlenwasserstoffdämpfen. Zwischen Rotor und Stator ist kein Dichtungsmaterial vorhanden. Damit wird eine Partikelbildung vermieden.

Kleine, leistungsstarke SplitFlow Turbopumpe basierend auf HiPace Technologie mit einem Saugvermögen von bis zu 53 l/s am Hochvakuumflansch und 0,15 l/s an der Zwischenabsaugung (für N₂).

Mit der neuen Duo 3 DC präsentiert Pfeiffer Vacuum eine zweistufige Drehschieberpumpe, die speziell für Anwendungen mit 24 Volt Gleichstrom konzipiert ist. Sie kann als einzige Drehschieberpumpe auf dem Markt im Temperaturbereich zwischen -20⁰C und +60⁰C eingesetzt werden. Mit einem Verbrauch von weniger als 100 Watt im Dauerbetrieb arbeitet sie enorm energieeffizient und ist dank des bürstenlosen Motors und der optionalen Magnetkupplung sehr wartungsarm.

Der RPT 200 Transmitter ermöglicht genaue Messungen vom Feinvakuum über den Atmosphärendruck hinaus. Mit dem robusten Metallgehäuse und der digitalen Schnittstelle ist der Transmitter besonders für den Einsatz in Vakuumsystemen und Anlagen geeignet.

Die neuen ATH M-Pumpen erreichen einen Gasdurchsatz von über 5.000 sccm für Stickstoff bei unbeheizten Anwendungen. Darüber hinaus bieten sie mit 1.500 sccm den höchsten am Markt verfügbaren Durchsatz für Argon sowie eine Pumpenbetriebstemperatur von 65 °C bei korrosiven Anwendungen.