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Im Magnetronsputterverfahren werden unter anderem Dünnschichten aus Molybdän für Flachbildschirme oder CIGS-Solarzellen hergestellt. Molybdän-Sputtertargets von Plansee sind das Ausgangsmaterial. Sie haben eine Reinheit von 5N, eine homogene Mikrostruktur und eine sehr gute Oberflächenqualität. Dadurch sind höhere Sputtergeschwindigkeiten, eine minimierte Partikelbildung während des Prozesses und homogene Schichten garantiert. Verfügbare Molybdän-Legierungen: MoTa, MoNb, MoNa, MoW Sie können zwischen ein- und mehrteiligen Flachtargets wählen. Flachtargets sind für alle gängigen Systeme sowie für spezifische Kundenanforderungen erhältlich. Rohrtargets sind ebenfalls erhältlich.

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PVD-Systeme in kundenspezifischen Größen Als Hersteller von Sonderanlagen gehen wir auf Ihre Wünsche ein und liefern Ihnen ein maßgeschneidertes System, Ihren Bedürfnissen entsprechend. Um die Wirtschaftlichkeit zu verbessern, bauen wir dabei auf unsere bewährten kubischen Standardrezipienten, aber auch jede andere Art von Vakuumkammer ist möglich. Sprechen Sie uns an!

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PVD-Systeme in kundenspezifischen Ausstattungen Gemäß Ihren Wünschen rüsten wir Ihre Anlage um oder statten die Neuanlage kundenspezifisch aus. Wir erarbeiten Schritte mit Ihnen, wir Sie Ihre Produkte optimal herstellen können und beraten Sie auch in Fragen der Prozesstechnik und des Schichtdesigns.

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