Vakuumtechnik für die Nanotechnologie
Beschreibung
Bei diesen Bauteilen wird ein großes Augenmerk auf die Präzision, Oberflächegüte und Reinigung gelegt. Im Bereich der Nanotechnologie fertigen wir Ultra-Hochvakuum-Kammern für die Teilchenanalytik im Druckbereich von < 1 x 10-11 mbar für Molekularstrahlepitaxie-Anwendungen MBE, SPM(Scanning Probe Microscopie). Diese Vakuumkammern werden mit großer Sorgfalt gefertigt um den hohen Ansprüchen der Branche gerecht zu werden. Mit modernen Maschinen und innovativer Technik erfüllen wir die hohen Anforderungen der Nanotechnolgie.
- Planung, Konstruktion und Entwicklung
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VA-TEC GMBH & CO.KG
Deutschland
Im Bereich Dünneschichtenzellen fertigen wir für die führenden Anlagenhersteller. Unser Produktionsumfang bei Vakuumkammern bewegt sich von kleinen Laborkammern für die Entwicklung bis hin zu Testkammern in der Größe der Produktionslinien. Bei dieser Sparte arbeiten die Systeme mit einem Arbeitsdruck bis zu 5 x 10-8 mbar.