Garanten für exzellente Prozessergebnisse Mit diesen HF-Generatoren gehen Sie auf Nummer sicher: Die TruPlasma RF Serie 3000 zeichnet sich durch eine robuste Bauweise und hohe Effizienz aus. Damit ist sie bestens geeignet für stabile, reproduzierbare Plasmaprozesse, wie sie beispielsweise bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Solarzellen oder Halbleitern zur Anwendung kommen. In tausenden von Anwendungen weltweit installiert, garantieren diese Generatoren eine hohe Produktivität und herausragende Prozessergebnisse. Ausgangsfrequenz: 13.56 MHz
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HF-Generatoren der neuen Generation Bei der Beschichtung oder Strukturierung von Oberflächen kommt es entscheidend auf eine stabile und reproduzierbare Plasmastromversorgung an. Hierfür bieten die mit moderner Leistungselektronik ausgestatteten HF-Generatoren der TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) die besten Voraussetzungen: Dank ihrer stabilen Ausgangsleistung und hohen Regelgenauigkeit sichern sie Ihnen beste Ergebnisse bei zugleich hoher Produktivität. Ausgangsfrequenz: 13.56 MHz
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Souveränes Handling von anspruchsvollen Prozessen Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurde speziell für das reaktive DC-Sputtern mit schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich höchste Schichtqualität und Produktivität verlangt werden. Die kompakten DC-Prozessstromversorgungen sind sowohl im gepulsten als auch im Bias-Betrieb einsetzbar – sozusagen zwei Geräte in einem Gehäuse!
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Kompakte Gleichstrom-Generatoren der neuen Generation Die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) ist für eine Vielzahl von DC-Sputterprozessen geeignet – auch als Ersatz von gepulsten Prozessstromversorgungen. Denn das fortschrittliche Arc-Management bietet die Gewähr für beste Schichtqualitäten und einen deutlich erhöhten Produktionsertrag. Aufgrund der äußerst kompakten Bauweise können Sie die wassergekühlten Gleichstrom-Generatoren sehr einfach in Ihre bestehende Anwendung integrieren.
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Beeindruckende Hartstoffschichten mit Arcs erzielen Die Produktfamilie TruPlasma Arc Serie 3000 ist eine Schlüsselkomponente bei Arc-Kathoden-Prozessen im rauen industriellen Umfeld. Die Generatoren bestechen vor allem bei Hartstoff- und dekorativen Beschichtungen. Zusätzlich sind sie eine ausgewählte Energiequelle für zahlreiche Hochstrom-Anwendungen, z.B. der Ionen-Implantation und DC-Anwendungen mit gleichen Anforderungen.
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