Beschreibung

Technische Daten Schaltschrank: B 600 mm, H 1700 mm, T 800 mm Kammer: ∅ 1200 mm, T 2500 mm Kammervolumen: ca. 2800 Liter Gaszufuhr: 3 Gaskanäle über MFCs Generator: 1 Stück (40 kHz)(optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz) Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

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