Sputter-Targets

Im Magnetronsputterverfahren werden unter anderem Dünnschichten aus Molybdän für Flachbildschirme oder CIGS-Solarzellen hergestellt. Molybdän-Sputtertargets von Plansee sind das Ausgangsmaterial. Sie haben eine Reinheit von 5N, eine homogene Mikrostruktur und eine sehr gute Oberflächenqualität. Dadurch sind höhere Sputtergeschwindigkeiten, eine minimierte Partikelbildung während des Prozesses und homogene Schichten garantiert. Verfügbare Molybdän-Legierungen: MoTa, MoNb, MoNa, MoW Sie können zwischen ein- und mehrteiligen Flachtargets wählen. Flachtargets sind für alle gängigen Systeme sowie für spezifische Kundenanforderungen erhältlich. Rohrtargets sind ebenfalls erhältlich.

Plansee produziert Material für Verschleißschutzschichten, Haftschichten, dekorative oder DLC-Beschichtungen. Angeboten werden Zusammensetzungen maßgeschneidert für fortschrittliche Hartstoffbeschichtungen mit optimierten mechanischen und tribologischen Eigenschaften. Weiters sind folgende verbesserte Eigenschaften möglich: Verbesserung der thermischen und chemischen Stabilität, Hinzufügen von funktionellen Eigenschaften wie Selbstschmierung, Selbsthärtung und Selbstheilung. Wir stellen folgende Sputtertargets bzw. Arc-Kathoden her: Titan-Aluminium Aluminium-Chrom Chrom Titan-Silizium Titan Zirkonium Wolframkarbid Titan-Diborid

Aluminium wird für die PVD-Metallisierung in Dünnfilmtransistoren für TFT-LCDs für Displays verwendet. Aluminium-Sputter-Targets sind hochrein und gewährleisten daher beste Leitfähigkeit des Materials. Die Mikrostruktur unserer Aluminiumtargets ist besonders feinkörnig. Damit garantieren wir Ihnen einen gleichmäßigen Abtrag und eine geringe Neigung zur Partikelbildung während des Sputterprozesses. Material Eigenschaften: Dichte [g/cm3]: > 2,70 Reinheit [%]: > 99,999 (5N) Härte [HV1]: 16 Thermische Leitfähigkeit [W/(m·K)]: 238

Wolframschichten sind Bestandteile von Dünnfilmtransistoren in TFT-LCD Bildschirmen. Sie kommen dort zum Einsatz, wo große Bildschirmformate, eine besonders hohe Bildschärfe und optimierte Kontraste gefragt sind. Wolfram kommt aber auch in der Mikroelektronik als Diffusionsbarriere und leitfähige Verbindung zum Einsatz. Mit dem weltgrößten Warmwalzwerk für hochschmelzende Metalle ist es Plansee möglich das größte Wolfram-Sputtertarget der Welt zu fertigen. Ihr Vorteil des großen Formats: Der Beschichtungsprozess läuft stabiler und die Qualität der abgeschiedenen Schichten ist besser. Wolfram-Sputtertargets von Plansee sind durch spezielle Umformverfahren nahezu 100 % dicht. Die Vorteile für Ihren Prozess sind eine besonders gute Leitfähigkeit und Zeitgewinn durch hohe Sputtergeschwindigkeiten.