Beschreibung

Basierend auf der einzigartigen CMOSens® Technologie wird das digital kalibrierte und temperaturkompensierte Sensorsignal auf dem Chip direkt zu einem Signal konvertiert, welches im analogen Regelkreislauf zur Kontrolle des Ventils verwendet wird. Dank dieses Prinzips ist der Massenflussregler gegenüber elektromagnetischen Interferenzen unempfindlich. Der SFC5000 verfügt über ein analoges oder wahlweise digitales Interface und ermöglicht eine äusserst stabile und genaue Regelung von Gasflüssen. Der Sensor lässt sich mit einer Versorgungsspannung von 14 bis 24 Vdc betreiben. Spezifikation: Messprinzip: Therm. Masse, CMOS Sensor Größen: ¼“ und ½“ G Messbereiche: bis 100 nl/min Genauigkeit: 0.08% bis 0.1% EW 0.8% bis 1% MW Messgase: Luft, O2, N2, Ar, CO2, N2O, andere auf Anfrage

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