SLE-Prozess

Zunächst wird transparentes Material mit Laserstrahlung derart belichtet, so dass die chemische Ätzbarkeit an diesen Stellen vergrößert wird. Damit das rissfrei gelingt, wird eine kurze Pulsdauer (fs-ps) und ein kleines Fokusvolumen (wenige µm3) benötigt. Der Fokus wird nun durch das Material bewegt, bis ein zusammenhängendes Volumen mit Kontakt zur Außenfläche des Werkstücks belichtet ist. In dem zweiten Prozessschritt wird das durch die Laserstrahlung modifizierte Material selektiv durch nasschemisches Ätzen entfernt - die Struktur wird quasi entwickelt. Für die Strukturgenauigkeit wesentlich ist dabei die Selektivität - die Ätzrate des modifizierten Materials im Verhältnis zur Ätzrate des unmodifizierten Materials. Bei Quarzglas üblich ist eine Selektivität größer 500:1, so dass feine lange Kanäle mit kleiner Konizität möglich sind (Bild unten). Daher können mit der SLE-Technologie komplexe 3D-Hohlräume im Glas erzeugt werden, welche die Basis für unsere Produkte, z.B. die...