Beschreibung

Die Reinraumroboter der NT Serie sind so konstruiert, dass ein einzelner Roboter bis zu vier FOUPs erreichen kann, ohne eine Linearachse zu benutzen. Die NT Serie kann mit ihrem Design der nächsten Generation sowohl 300-mm als auch 400-mm-Wafer mit einer Rate von 400 Wafern pro Stunde (WPH) ohne Ausrichter handhaben. Eine breite Generation von horizontalen Knickarmrobotern für Halbleiterfertigungslinien wartet auf Sie.

Automation - Anlagen und Einrichtungen

Produktmerkmale

Typ SCARA
Achszahl 4-Achs,5-Achs
Funktion Handling
Bereich für Industrieanwendungen,für Reinraum,für Elektronik,für Elektronikindustrie,für Solaranwendungen

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