Beschreibung

Mit dem LinearLevi-Inspektionsmodul können Substrate während dem berührungslosen Transport inspiziert werden. Materialien wie Batteriezellen, Folien, Verpackungen sowie Wafer und Chips werden ohne Unterbrechung auf ihre Qualität geprüft. Es besteht auch die Möglichkeit, die Substrate anschließend anhand ihrer Inspektionsergebnisse entsprechend zu sortieren. Das System kann in verschiedenen Versionen geliefert werden. Es lässt sich beispielsweise mit dem UltraLevi-Desk für den berührungslosen Transport kombinieren. Das Substrat wird auf Abstand gehalten, sodass Berührungspunkte verhindert werden. Merkmale des LinearLevi-Inspektionsmoduls: - Aneinanderreihbar - Unterschiedliche Größen - Keine Partikel, da keine Luftverwirbelungen - Doppelseitige Inspektion möglich - Hohe Ebenheit, auch bei flexiblen Substraten - Individualisierbar nach Kundenvorgaben

Transportsysteme, innerbetrieblich
  • berührungslose Inspektion
  • Inspektion
  • doppelseitige Inspektion

Zusätzliche Dokumentation

Videos

Contactless Inspection-Module ZS-Handling

pdf-Dokumente

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