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Deutschland

LeviWafer-Greifer

Beschreibung

Mit dem LeviWafer-Greifer-Transportsystem ist es möglich, sensible Wafer berührungslos zu heben und zu transportieren. In Kombination mit dem Transport ist auch das Be- und Entladen von Kassetten oder Stapeln möglich. Der Greifer hält mit Hilfe der Ultraschalllager-Technologie den Wafer auf Abstand und ermöglicht dadurch einen kontaktlosen Transport. Neben Mikro-Kratzern und -Rissen werden Verunreinigungen durch Partikel vermieden, da ohne Druckluft keine Luftverwirbelungen entstehen. Deshalb ist der Greifer auch für den Reinraum sehr gut geeignet. Der LeviWafer-Greifer kann mit einem Single- oder DoublePaddle konstruiert werden. Merkmale des LeviWafer-Greifers: - Berührungslose Aufnahme - Keine Mikrokratzer, Mikrorisse oder Partikel - Geeignet für Standardkassetten - Geringer Energieverbrauch - Individualisierbar nach Kundenvorgaben

Transportsysteme, innerbetrieblich
  • Wafer Handhabung
  • Wafer Transport
  • kontaktloser Wafer Greifer

Zusätzliche Dokumentation

pdf-Dokumente

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