Beschreibung

Inspektions- und Reviewsystem für gesteigertes Auflösungsvermögen und mehr Durchsatz bei der Inspektion von Proben mit 12 Zoll/300 mm Durchmesser dank innovativer optischer Funktionen: Makro-Modus (optional) oder schräge UV-Beleuchtung (OUV, mit i-line UV Option). Die integrierte LED-Beleuchtung optimiert den Airflow im Reinraum und hat dank langer Lebensdauer und geringen Stromverbrauchs ein hohes Sparpotenzial.

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