HPG400-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck

Höchste Wiederholbarkeit und reproduzierbare Messungen für genaue Sputter-Prozessdruckkontrolle im Bereich von 2 E-6 mbar bis Atmosphäre. Das Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät HPG400 von INFICON kombiniert Heißionisation bei hohem Druck und Pirani-Sensoren zu einem einzigen kompakten und kostengünstigen Paket für Druckmessungen im Bereich von 2 E-6 mbar bis Atmosphärendruck (1,5 E-6 Torr bis Atmosphärendruck). Das HPG400 ermöglicht Druckmessungen mit hoher Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit für eine präzise Druckkontrolle bei Zerstäubungsvorgängen. Leistungen •Das HPG400 spart Kosten und Werkzeugplatz und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems. •Das Hochdruck-Heißkathoden-Ionisationsmessgerät bietet präzise, zuverlässige Druckmessungen von E-5 bis 1 mbar zur besseren Prozesssteuerung. •Vom Benutzer auswählbare Aktivierung der Heißkathodenemission zwischen 5 E-2 und 1 mbar •Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem...