Ersatzteile für Ionenimplanter

Ersatzteile beinhalten etwa Kammern, Wendeln, Blenden, Halterungen uvm. Die Ersatzteile für Ionenimplanter-Anlagen werden aus Graphit, Wolfram, Molybdän und Legierungen gefertigt und sparen durch ihre verlängerte Lebensdauer Kosten und Wartungsaufwand. In jedem Strahlengang sind 100 oder mehr Plansee-Komponenten im Einsatz. Sie sorgen dafür, dass die Ionen effizient erzeugt und präzise und frei von Verunreinigungen entlang des Strahlenganges zum Wafer geführt werden. Für Kunden aus der Halbleiterindustrie sind Plansee Ersatzteile zunehmend mehr als nur Ersatzteile. Ausgehend von den Original-Ersatzteilen des Anlagenherstellers optimiert Plansee die Geometrien und Materialzusammensetzungen. Ihre Vorteile: — Vereinfachte Montage und Demontage von Komponenten — Längere Standzeiten — Geringere Reinigungskosten — Reduzierte Wartungsarbeiten