Beschreibung

Zur Vorkonditionierung des Aufdampfmaterials sowie zur Festlegung des präzisen Beginns und Endes des jeweiligen Aufdampf-Schrittes setzt man drehbare Abschirmblenden – auch Shutter genannt – ein. Unter dem Schutz des Shutters kann das Material seine Gleichgewichtstemperatur erreichen, welche für die Ausbildung einer stabilen Dampfblase erforderl... Zur Vorkonditionierung des Aufdampfmaterials sowie zur Festlegung des präzisen Beginns und Endes des jeweiligen Aufdampf-Schrittes setzt man drehbare Abschirmblenden – auch Shutter genannt – ein. Unter dem Schutz des Shutters kann das Material seine Gleichgewichtstemperatur erreichen, welche für die Ausbildung einer stabilen Dampfblase erforderlich ist. Durch unsere spezielle Ausformung der Shutter-Ränder des kondensiert dabei augenblicklich das Aufdampfmaterial an der Shutter-Unterseite, ohne dass es sich ungewollt auf dem Substrat niederschlägt, auch Spannungsüberschlägen, dem sog. „Arcen“ wird damit wirkungsvoll entgegengewirkt. Auch and

Produktmerkmale

Antrieb Pneumatikantrieb (Schwenkmodul), Fabrikat Festo® mit Anschlagdämpfer in einstellbarer Endlage, max.
Dichtung Ferrofluid-gedichte Hochvakuumdurchführung
Druckluft mindestens 5,5 bar (552 kPa)
Endlagenerfassung berührungsloser Endlagenschalter 24 V (DC)
Maße nach Kundenwunsch
Montage Klemmringverschraubung mit Überwurfmutter, passend für DN 40-Durchführung (Durchgangsbohrung Ø 34 mm
Optionen Abschirmblenden nach Kundenwunsch
Shutteraufnahme mittels Adapter für Ø 5 mm Shutter-Stab, andere Durchmesser nach Absprache
Vakuumbedingungen bis 1 · 10ˉ⁹ mbar, Leckrate (He) < 1 · 10ˉ¹¹ mbar ∙ l ∙ sˉ¹
Werkstoffe | Außerhalb Aluminium, Edelstahl 1.4301, Viton®
Werkstoffe | Im Rezipientenraum Edelstahl 1.4301, Viton®

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