Beschichtungsmaterial für Hartstoffschichten

Im Magnetronsputterverfahren werden unter anderem Dünnschichten aus Molybdän für Flachbildschirme oder CIGS-Solarzellen hergestellt. Molybdän-Sputtertargets von Plansee sind das Ausgangsmaterial. Sie haben eine Reinheit von 5N, eine homogene Mikrostruktur und eine sehr gute Oberflächenqualität. Dadurch sind höhere Sputtergeschwindigkeiten, eine minimierte Partikelbildung während des Prozesses und homogene Schichten garantiert. Verfügbare Molybdän-Legierungen: MoTa, MoNb, MoNa, MoW Sie können zwischen ein- und mehrteiligen Flachtargets wählen. Flachtargets sind für alle gängigen Systeme sowie für spezifische Kundenanforderungen erhältlich. Rohrtargets sind ebenfalls erhältlich.

Aluminium wird für die PVD-Metallisierung in Dünnfilmtransistoren für TFT-LCDs für Displays verwendet. Aluminium-Sputter-Targets sind hochrein und gewährleisten daher beste Leitfähigkeit des Materials. Die Mikrostruktur unserer Aluminiumtargets ist besonders feinkörnig. Damit garantieren wir Ihnen einen gleichmäßigen Abtrag und eine geringe Neigung zur Partikelbildung während des Sputterprozesses. Material Eigenschaften: Dichte [g/cm3]: > 2,70 Reinheit [%]: > 99,999 (5N) Härte [HV1]: 16 Thermische Leitfähigkeit [W/(m·K)]: 238

Wolframschichten sind Bestandteile von Dünnfilmtransistoren in TFT-LCD Bildschirmen. Sie kommen dort zum Einsatz, wo große Bildschirmformate, eine besonders hohe Bildschärfe und optimierte Kontraste gefragt sind. Wolfram kommt aber auch in der Mikroelektronik als Diffusionsbarriere und leitfähige Verbindung zum Einsatz. Mit dem weltgrößten Warmwalzwerk für hochschmelzende Metalle ist es Plansee möglich das größte Wolfram-Sputtertarget der Welt zu fertigen. Ihr Vorteil des großen Formats: Der Beschichtungsprozess läuft stabiler und die Qualität der abgeschiedenen Schichten ist besser. Wolfram-Sputtertargets von Plansee sind durch spezielle Umformverfahren nahezu 100 % dicht. Die Vorteile für Ihren Prozess sind eine besonders gute Leitfähigkeit und Zeitgewinn durch hohe Sputtergeschwindigkeiten.

Düsenspitzen für Heißkanaldüsen aus Titan-Zirkon-Molybdän (TZM) haben eine besonders hohe thermische Leitfähigkeit von 140 W/mK und sind gleichzeitig sehr temperatur- und korrosionsbeständig. Glasfaserverstärkte Kunststoffe sind besonders fest bei der Verarbeitung, aber auch sehr abrasiv. Eine optimale Kombination aus Wärmeleitfähigkeit und Materialhärte ist gefragt. Die TZM-Düsenspitzen von Plansee sind besonders widerstandsfähig: das SHN-Verfahren zur Oberflächenhärtung. Mit der SHN-Oberflächenhärtung verstärken wir Randzonen und komplette Bauteile aus TZM mit einer fest haftenden Diffusionsschicht. So profitieren unsere Kunden von der Zähigkeit des warmfesten Werkstoffs und einer verschleißbeständigen Oberfläche. Die Härtung findet in der Gasphase statt. Schichten, die wir mit dem SHN-Verfahren herstellen, haften besser als konventionelle PVD- oder CVD-Schichten. Sie geben die Oberflächenkontur des TZM-Produkts eins zu eins wieder.