AFSEM-Rasterkraftmikroskop für korrelative AFM- und...

Mit dem AFSEM-Rasterkraftmikroskop (AFM) können zwei der leistungsfähigsten Ober­flächen­ana­lyse­me­tho­den, AFM und REM, schnell und einfach miteinander kombiniert werden. Mit nur einem korrelativen System erhält man eine Vielzahl unterschiedlichster Informationen über die zu vermessende Probe. Das AFSEM-Rasterkraftmikroskop ist kompatibel mit den meisten REM- oder REM/FIB-Systemen und wird direkt in ein vorhandenes REM implementiert. Alle REM-Messmethoden bleiben dabei erhalten. AFSEM verwendet andere gängige Analysemethoden wie FIB, FEBID und EDX.